| Direktur Kawasan Sains dan Teknologi | Ir. R. Sugeng Joko Sarwono, M.T., Ph.D. |
| Asisten Direktur Bidang Inovasi dan Penerapan Teknologi | Ir. Arif Sasongko, S.T., M.T., Ph.D. |
| Asisten Direktur Bidang Kewirausahaan dan Inkubasi Bisnis | Dr. Ir. Irwan Gumilar, S.T., M.Si. |
| Asisten Direktur Bidang Transfer Teknologi, Akselerasi dan Pengembangan Bisnis Kawasan | Ir. Rofiq Iqbal, S.T., M.Eng., Ph.D. |
| Kepala Subdirektorat Monitoring dan Evaluasi | Sigit Purwanto, S.T., M.T |
| Kepala Subdirektorat Keuangan dan Anggaran | Siti Mulyani, S.A.B |
| Kepala Subdirektorat Sarana Prasana dan Sistem Informasi | Daris Qodarisman Nasir, S.Pd.,M.Si. |
| Kepala Seksi Monitoring dan Evaluasi Program Inovasi, Penerapan Teknologi, Transfer Teknologi, dan Pengembangan Bisnis Kawasan | Deasy Anisa Natalia Rahmawati, S.Si. |
| Kepala Seksi Monitoring dan Evaluasi Program Pengembangan Kewirausahaan dan Inkubasi Bisnis | Dani Hermana, S.A.B. |
| Kepala Seksi Anggaran dan Perbendaharaan | Irma Rosdiana, S.E. |
| Kepala Seksi Akuntansi dan Perpajakan | Aulia Rahim, A.Md. |
| Kepala Seksi Data dan Sistem Informasi | Jejen Samsul Aripin, S.T., M.Kom. |
| Kepala Seksi Sarana dan Prasarana | Puji Astuti, A.Md. |
| Kepala Sekretariat | Yayat Mulyati, S.Pd., M.M. |